VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
p-Si (B: 10e14) native oxide(grazing x-rays)dil HF
1
(treated with dilute HF solution, no ion etching)
NORM
REGULAR
6
0
0
0
0
0
6
(treated with dilute HF solution, no ion etching)
p-Si (B: 10e14) native oxide(grazing x-rays)dil HF
2003
5
10
15
35
3
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.75
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1100
-1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
2
4.00E-06
0
0
0
0
2202
10
9716
0.0603073
0.397444
256
0.397444
259
0.396009
238
0.394583
283
0.393166
279
0.391757
275
0.390357
257
0.388966
265
0.387583
256
0.386209
278
0.384843
255
0.383485
246
0.382135
266
0.380794
268
0.37946
247
0.378135
269
0.376817
299
0.375508
288
0.374206
270
0.372911
254
0.371625
259
0.370346
266
0.369075
323
0.367811
285
0.366554
284
0.365305
303
0.364063
280
0.362828
307
0.361601
303
0.36038
301
0.359167
339
0.35796
325
0.356761
310
0.355568
294
0.354383
284
0.353204
304
0.352031
326
0.350866
293
0.349706
313
0.348554
321
0.347408
341
0.346268
335
0.345135
312
0.344008
312
0.342888
299
0.341773
343
0.340665
326
0.339563
313
0.338468
329
0.337378
351
0.336294
346
0.335216
325
0.334144
327
0.333078
347
0.332018
376
0.330963
360
0.329914
361
0.328871
391
0.327834
342
0.326802
365
0.325776
369
0.324755
386
0.32374
344
0.32273
405
0.321725
384
0.320726
404
0.319732
392
0.318744
364
0.31776
407
0.316782
408
0.315809
412
0.314841
388
0.313879
406
0.312921
412
0.311968
414
0.31102
435
0.310077
443
0.309139
438
0.308206
495
0.307278
461
0.306354
488
0.305435
460
0.304521
530
0.303612
497
0.302707
515
0.301807
509
0.300911
500
0.30002
522
0.299134
497
0.298252
487
0.297374
524
0.296501
494
0.295632
518
0.294768
530
0.293908
594
0.293052
572
0.2922
565
0.291353
608
0.29051
662
0.289671
683
0.288836
630
0.288006
653
0.287179
667
0.286357
594
0.285538
600
0.284724
619
0.283913
614
0.283106
543
0.282304
593
0.281505
608
0.28071
552
0.279919
636
0.279132
597
0.278348
593
0.277569
633
0.276793
683
0.276021
732
0.275252
833
0.274487
851
0.273726
921
0.272968
1078
0.272214
1042
0.271464
909
0.270717
845
0.269973
766
0.269233
695
0.268497
661
0.267764
589
0.267034
531
0.266308
528
0.265585
521
0.264866
399
0.26415
416
0.263437
397
0.262727
365
0.262021
400
0.261318
380
0.260618
378
0.259922
387
0.259228
403
0.258538
374
0.257851
388
0.257167
399
0.256486
388
0.255808
364
0.255134
366
0.254462
358
0.253793
361
0.253128
380
0.252465
386
0.251805
373
0.251149
375
0.250495
423
0.249844
405
0.249196
394
0.248551
382
0.247909
397
0.247269
381
0.246633
438
0.245999
410
0.245368
406
0.24474
418
0.244114
391
0.243492
399
0.242872
386
0.242254
457
0.24164
426
0.241028
419
0.240418
421
0.239812
423
0.239208
430
0.238606
438
0.238007
402
0.237411
399
0.236817
410
0.236226
408
0.235637
472
0.235051
449
0.234467
426
0.233886
439
0.233308
431
0.232731
416
0.232157
401
0.231586
440
0.231017
430
0.23045
451
0.229886
442
0.229324
435
0.228765
457
0.228208
451
0.227653
456
0.2271
499
0.22655
472
0.226002
416
0.225456
487
0.224913
468
0.224372
467
0.223833
450
0.223296
463
0.222761
455
0.222229
453
0.221699
483
0.221171
438
0.220645
462
0.220121
512
0.219599
445
0.21908
448
0.218563
489
0.218047
477
0.217534
502
0.217023
450
0.216514
468
0.216007
494
0.215502
517
0.214999
463
0.214498
512
0.213999
495
0.213502
497
0.213007
487
0.212514
476
0.212022
517
0.211533
457
0.211046
512
0.210561
507
0.210077
513
0.209596
455
0.209116
521
0.208638
515
0.208163
528
0.207688
518
0.207216
507
0.206746
512
0.206277
487
0.205811
512
0.205346
483
0.204883
548
0.204422
549
0.203962
535
0.203504
596
0.203048
529
0.202594
557
0.202141
562
0.201691
530
0.201242
530
0.200794
584
0.200349
555
0.199905
565
0.199462
535
0.199022
555
0.198583
585
0.198146
562
0.19771
485
0.197276
544
0.196844
568
0.196413
537
0.195984
574
0.195556
552
0.19513
557
0.194706
575
0.194283
593
0.193862
574
0.193443
574
0.193024
608
0.192608
600
0.192193
627
0.19178
566
0.191368
577
0.190957
571
0.190548
599
0.190141
595
0.189735
587
0.189331
616
0.188928
633
0.188526
599
0.188126
594
0.187728
530
0.18733
601
0.186935
581
0.18654
614
0.186148
604
0.185756
569
0.185366
597
0.184978
617
0.18459
586
0.184205
604
0.18382
619
0.183437
625
0.183055
598
0.182675
613
0.182296
632
0.181918
598
0.181542
633
0.181167
635
0.180793
619
0.180421
618
0.18005
609
0.17968
629
0.179312
625
0.178945
638
0.178579
647
0.178214
662
0.177851
655
0.177489
609
0.177128
631
0.176769
644
0.176411
625
0.176054
687
0.175698
646
0.175343
660
0.17499
603
0.174638
653
0.174287
656
0.173937
643
0.173589
642
0.173242
648
0.172896
649
0.172551
622
0.172207
630
0.171864
676
0.171523
678
0.171183
695
0.170844
664
0.170506
641
0.170169
637
0.169833
648
0.169499
716
0.169165
758
0.168833
721
0.168502
709
0.168172
696
0.167843
668
0.167515
684
0.167189
701
0.166863
743
0.166538
700
0.166215
772
0.165893
668
0.165571
717
0.165251
682
0.164932
729
0.164614
707
0.164297
723
0.163981
750
0.163666
694
0.163352
732
0.163039
727
0.162727
722
0.162416
745
0.162106
690
0.161797
717
0.161489
760
0.161182
706
0.160877
755
0.160572
725
0.160268
718
0.159965
799
0.159663
784
0.159362
756
0.159062
734
0.158763
758
0.158465
732
0.158168
752
0.157872
741
0.157577
783
0.157283
788
0.156989
768
0.156697
742
0.156406
827
0.156115
762
0.155825
819
0.155537
742
0.155249
791
0.154962
812
0.154676
830
0.154391
791
0.154107
845
0.153824
775
0.153542
856
0.15326
818
0.15298
801
0.1527
768
0.152421
808
0.152143
830
0.151866
846
0.15159
827
0.151315
851
0.15104
856
0.150767
870
0.150494
817
0.150222
850
0.149951
859
0.149681
861
0.149411
830
0.149143
829
0.148875
859
0.148608
848
0.148342
830
0.148077
842
0.147812
863
0.147548
840
0.147285
880
0.147023
840
0.146762
819
0.146502
882
0.146242
908
0.145983
861
0.145725
877
0.145468
882
0.145211
914
0.144955
1061
0.1447
1150
0.144446
915
0.144193
893
0.14394
899
0.143688
883
0.143437
899
0.143186
879
0.142937
935
0.142688
913
0.142439
883
0.142192
892
0.141945
846
0.141699
843
0.141454
915
0.141209
911
0.140965
891
0.140722
863
0.14048
914
0.140238
899
0.139997
918
0.139757
922
0.139518
956
0.139279
914
0.139041
906
0.138803
944
0.138566
1005
0.13833
996
0.138095
990
0.13786
1012
0.137626
956
0.137393
926
0.13716
965
0.136928
925
0.136697
933
0.136466
975
0.136236
995
0.136007
973
0.135779
965
0.135551
953
0.135323
981
0.135097
1016
0.134871
1027
0.134645
997
0.13442
1027
0.134196
966
0.133973
1012
0.13375
961
0.133528
980
0.133306
1018
0.133085
1032
0.132865
1014
0.132645
1066
0.132426
1004
0.132208
1036
0.13199
1047
0.131773
1055
0.131556
1057
0.13134
1050
0.131125
1073
0.13091
1048
0.130696
1101
0.130483
996
0.13027
1114
0.130057
1096
0.129846
1075
0.129634
1052
0.129424
1105
0.129214
1179
0.129004
1113
0.128795
1131
0.128587
1119
0.12838
1101
0.128172
1112
0.127966
1119
0.12776
1099
0.127555
1116
0.12735
1140
0.127145
1125
0.126942
1141
0.126739
1158
0.126536
1133
0.126334
1140
0.126132
1216
0.125931
1207
0.125731
1107
0.125531
1181
0.125332
1233
0.125133
1205
0.124935
1153
0.124737
1221
0.12454
1222
0.124344
1216
0.124147
1209
0.123952
1214
0.123757
1237
0.123562
1231
0.123368
1288
0.123175
1258
0.122982
1231
0.12279
1258
0.122598
1384
0.122406
1267
0.122215
1316
0.122025
1311
0.121835
1325
0.121646
1262
0.121457
1318
0.121269
1338
0.121081
1303
0.120893
1318
0.120707
1340
0.12052
1359
0.120334
1365
0.120149
1382
0.119964
1367
0.11978
1323
0.119596
1444
0.119412
1410
0.119229
1367
0.119047
1417
0.118865
1440
0.118683
1389
0.118502
1388
0.118322
1315
0.118142
1393
0.117962
1437
0.117783
1408
0.117604
1572
0.117426
1465
0.117248
1561
0.117071
1634
0.116894
1627
0.116718
1628
0.116542
1678
0.116366
1725
0.116191
1688
0.116017
1653
0.115843
1682
0.115669
1501
0.115496
1522
0.115323
1456
0.115151
1510
0.114979
1474
0.114807
1441
0.114636
1455
0.114466
1418
0.114295
1414
0.114126
1409
0.113956
1387
0.113788
1342
0.113619
1347
0.113451
1316
0.113284
1343
0.113116
1332
0.11295
1466
0.112783
2316
0.112617
6497
0.112452
9716
0.112287
5189
0.112122
1963
0.111958
1377
0.111794
1310
0.111631
1320
0.111468
1274
0.111305
1154
0.111143
1228
0.110981
1154
0.11082
1175
0.110659
1250
0.110498
1206
0.110338
1172
0.110178
1193
0.110019
1237
0.10986
1199
0.109701
1228
0.109543
1243
0.109385
1197
0.109228
1245
0.109071
1230
0.108914
1190
0.108758
1220
0.108602
1246
0.108447
1251
0.108292
1214
0.108137
1217
0.107982
1195
0.107829
1236
0.107675
1265
0.107522
1206
0.107369
1260
0.107216
1242
0.107064
1314
0.106912
1207
0.106761
1258
0.10661
1261
0.106459
1201
0.106309
1239
0.106159
1273
0.10601
1301
0.105861
1303
0.105712
1320
0.105563
1284
0.105415
1212
0.105267
1248
0.10512
1227
0.104973
1318
0.104826
1272
0.10468
1331
0.104534
1302
0.104388
1254
0.104243
1319
0.104098
1280
0.103953
1272
0.103809
1263
0.103665
1314
0.103522
1329
0.103378
1270
0.103235
1263
0.103093
1315
0.102951
1291
0.102809
1319
0.102667
1288
0.102526
1306
0.102385
1330
0.102245
1293
0.102104
1335
0.101964
1299
0.101825
1300
0.101686
1276
0.101547
1336
0.101408
1417
0.10127
1317
0.101132
1306
0.100994
1401
0.100857
1378
0.10072
1354
0.100583
1311
0.100447
1427
0.100311
1423
0.100175
1335
0.10004
1334
0.0999048
1383
0.09977
1435
0.0996356
1360
0.0995014
1372
0.0993676
1405
0.099234
1372
0.0991008
1354
0.0989679
1384
0.0988353
1364
0.098703
1370
0.098571
1421
0.0984393
1424
0.0983079
1368
0.0981767
1372
0.0980459
1313
0.0979154
1422
0.0977852
1446
0.0976553
1403
0.0975257
1460
0.0973964
1384
0.0972674
1451
0.0971386
1432
0.0970102
1425
0.096882
1446
0.0967542
1491
0.0966266
1470
0.0964993
1404
0.0963723
1451
0.0962456
1472
0.0961192
1457
0.095993
1458
0.0958672
1410
0.0957416
1407
0.0956163
1438
0.0954913
1523
0.0953666
1396
0.0952421
1452
0.095118
1511
0.0949941
1484
0.0948704
1477
0.0947471
1459
0.094624
1476
0.0945012
1433
0.0943787
1445
0.0942564
1494
0.0941345
1474
0.0940128
1473
0.0938913
1517
0.0937701
1473
0.0936492
1565
0.0935286
1529
0.0934082
1401
0.0932881
1461
0.0931683
1453
0.0930487
1480
0.0929294
1457
0.0928103
1555
0.0926915
1494
0.092573
1560
0.0924547
1490
0.0923367
1524
0.092219
1465
0.0921015
1485
0.0919842
1531
0.0918672
1541
0.0917505
1490
0.091634
1503
0.0915178
1444
0.0914018
1521
0.0912861
1488
0.0911707
1528
0.0910554
1511
0.0909405
1514
0.0908257
1555
0.0907113
1540
0.090597
1493
0.0904831
1558
0.0903693
1495
0.0902558
1481
0.0901426
1537
0.0900296
1559
0.0899168
1623
0.0898043
1538
0.089692
1515
0.08958
1597
0.0894682
1513
0.0893567
1533
0.0892453
1535
0.0891343
1559
0.0890234
1511
0.0889128
1570
0.0888024
1477
0.0886923
1624
0.0885824
1598
0.0884727
1591
0.0883633
1563
0.0882541
1594
0.0881451
1607
0.0880364
1612
0.0879279
1693
0.0878196
1607
0.0877115
1552
0.0876037
1646
0.0874961
1603
0.0873887
1648
0.0872815
1700
0.0871746
1662
0.0870679
1636
0.0869614
1658
0.0868552
1622
0.0867492
1714
0.0866434
1642
0.0865378
1654
0.0864324
1633
0.0863272
1628
0.0862223
1672
0.0861176
1624
0.0860131
1583
0.0859088
1699
0.0858048
1696
0.0857009
1649
0.0855973
1712
0.0854939
1774
0.0853907
1745
0.0852877
1640
0.0851849
1758
0.0850824
1714
0.08498
1692
0.0848779
1764
0.0847759
1791
0.0846742
1715
0.0845727
1757
0.0844714
1725
0.0843703
1784
0.0842694
1669
0.0841688
1689
0.0840683
1765
0.083968
1818
0.0838679
1732
0.0837681
1737
0.0836684
1826
0.083569
1777
0.0834697
1730
0.0833707
1730
0.0832718
1890
0.0831732
1778
0.0830747
1759
0.0829765
1790
0.0828784
1808
0.0827806
1818
0.0826829
1838
0.0825855
1788
0.0824882
1713
0.0823912
1816
0.0822943
1793
0.0821976
1719
0.0821012
1779
0.0820049
1824
0.0819088
1858
0.0818129
1838
0.0817172
1942
0.0816217
2094
0.0815264
2507
0.0814312
2847
0.0813363
2651
0.0812415
1876
0.081147
1815
0.0810526
1821
0.0809584
1798
0.0808644
1778
0.0807706
1814
0.080677
1785
0.0805835
1768
0.0804903
1793
0.0803972
1837
0.0803043
1857
0.0802116
1853
0.0801191
1791
0.0800268
1807
0.0799346
1834
0.0798427
1930
0.0797509
1831
0.0796593
1881
0.0795678
1978
0.0794766
1924
0.0793855
1921
0.0792946
1837
0.0792039
1886
0.0791134
1951
0.079023
1936
0.0789329
1927
0.0788429
1910
0.078753
1980
0.0786634
1948
0.0785739
1977
0.0784846
2025
0.0783955
1917
0.0783065
1999
0.0782177
2027
0.0781291
2006
0.0780407
1995
0.0779524
1940
0.0778643
2031
0.0777764
2013
0.0776886
2022
0.0776011
1934
0.0775136
2053
0.0774264
2042
0.0773393
2108
0.0772524
2164
0.0771657
2159
0.0770791
2145
0.0769927
2225
0.0769064
2125
0.0768203
2092
0.0767344
2129
0.0766487
2110
0.0765631
2179
0.0764777
2140
0.0763924
2154
0.0763073
2107
0.0762224
2176
0.0761376
2163
0.076053
2215
0.0759685
2257
0.0758842
2124
0.0758001
2290
0.0757162
2308
0.0756323
2289
0.0755487
2327
0.0754652
2306
0.0753819
2282
0.0752987
2212
0.0752157
2257
0.0751328
2343
0.0750501
2205
0.0749675
2196
0.0748852
2282
0.0748029
2357
0.0747208
2346
0.0746389
2352
0.0745571
2402
0.0744755
2516
0.074394
2485
0.0743127
2536
0.0742315
2577
0.0741505
2694
0.0740697
2569
0.073989
2557
0.0739084
2481
0.073828
2518
0.0737477
2503
0.0736676
2471
0.0735877
2490
0.0735078
2505
0.0734282
2480
0.0733487
2532
0.0732693
2516
0.0731901
2666
0.073111
2653
0.0730321
2828
0.0729533
2848
0.0728746
3000
0.0727961
2921
0.0727178
2982
0.0726396
2951
0.0725615
2769
0.0724836
2634
0.0724059
2621
0.0723282
2507
0.0722507
2512
0.0721734
2467
0.0720962
2474
0.0720191
2514
0.0719422
2537
0.0718654
2614
0.0717888
2811
0.0717123
2922
0.0716359
3234
0.0715597
3602
0.0714836
3764
0.0714077
3849
0.0713319
3392
0.0712562
3026
0.0711807
2649
0.0711053
2447
0.07103
2206
0.0709549
2056
0.0708799
2091
0.0708051
2085
0.0707304
2084
0.0706558
2015
0.0705814
2137
0.0705071
2643
0.0704329
3044
0.0703588
3146
0.0702849
3567
0.0702112
6652
0.0701375
8655
0.070064
4107
0.0699906
2133
0.0699174
1753
0.0698443
1530
0.0697713
1535
0.0696984
1426
0.0696257
1332
0.0695531
1363
0.0694807
1384
0.0694083
1361
0.0693361
1416
0.0692641
1454
0.0691921
1546
0.0691203
1629
0.0690486
1664
0.068977
1642
0.0689056
1645
0.0688343
1619
0.0687631
1549
0.0686921
1398
0.0686211
1341
0.0685503
1218
0.0684796
1262
0.0684091
1191
0.0683386
1154
0.0682683
1203
0.0681982
1168
0.0681281
1285
0.0680582
1315
0.0679883
1467
0.0679187
1679
0.0678491
1949
0.0677796
2360
0.0677103
2371
0.0676411
2041
0.067572
1577
0.0675031
1241
0.0674342
998
0.0673655
814
0.0672969
740
0.0672284
711
0.0671601
639
0.0670918
635
0.0670237
594
0.0669557
608
0.0668878
948
0.06682
1540
0.0667524
1364
0.0666849
1058
0.0666174
3603
0.0665501
8165
0.066483
2800
0.0664159
347
0.0663489
209
0.0662821
163
0.0662154
171
0.0661488
127
0.0660823
131
0.0660159
110
0.0659496
112
0.0658835
113
0.0658175
99
0.0657515
123
0.0656857
121
0.06562
122
0.0655545
113
0.065489
119
0.0654236
96
0.0653584
125
0.0652932
130
0.0652282
119
0.0651633
113
0.0650985
111
0.0650338
133
0.0649692
98
0.0649048
122
0.0648404
140
0.0647761
116
0.064712
135
0.064648
130
0.064584
117
0.0645202
128
0.0644565
133
0.0643929
122
0.0643294
108
0.064266
143
0.0642027
144
0.0641396
110
0.0640765
133
0.0640135
115
0.0639507
132
0.0638879
141
0.0638253
124
0.0637628
138
0.0637003
146
0.063638
129
0.0635758
136
0.0635136
136
0.0634516
128
0.0633897
141
0.0633279
136
0.0632662
131
0.0632046
147
0.0631431
142
0.0630817
135
0.0630204
157
0.0629592
151
0.0628981
181
0.0628371
179
0.0627762
159
0.0627155
141
0.0626548
174
0.0625942
166
0.0625337
134
0.0624733
141
0.062413
130
0.0623528
156
0.0622928
159
0.0622328
164
0.0621729
172
0.0621131
193
0.0620534
199
0.0619938
270
0.0619343
333
0.0618749
347
0.0618156
319
0.0617564
239
0.0616973
167
0.0616383
142
0.0615794
150
0.0615206
133
0.0614619
131
0.0614032
120
0.0613447
98
0.0612863
143
0.0612279
123
0.0611697
151
0.0611115
138
0.0610535
195
0.0609955
228
0.0609377
217
0.0608799
215
0.0608222
237
0.0607647
207
0.0607072
142
0.0606498
152
0.0605925
134
0.0605353
131
0.0604781
92
0.0604211
16
0.0603642
10
0.0603073
(treated with dilute HF solution, no ion etching)
p-Si (B: 10e14) native oxide(grazing x-rays)dil HF
2003
5
10
15
35
5
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.75
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
20
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
10
4.00E-06
0
0
0
0
602
4
1266
0.059744
0.0614619
756
0.0614619
729
0.061456
763
0.0614501
720
0.0614443
737
0.0614384
694
0.0614325
729
0.0614267
702
0.0614208
685
0.0614149
672
0.0614091
691
0.0614032
663
0.0613974
646
0.0613915
673
0.0613857
671
0.0613798
625
0.061374
648
0.0613681
614
0.0613622
611
0.0613564
573
0.0613506
615
0.0613447
571
0.0613389
597
0.061333
599
0.0613272
554
0.0613213
539
0.0613155
557
0.0613096
563
0.0613038
523
0.0612979
518
0.0612921
565
0.0612863
521
0.0612804
570
0.0612746
486
0.0612688
487
0.0612629
523
0.0612571
539
0.0612513
566
0.0612454
531
0.0612396
565
0.0612338
562
0.0612279
586
0.0612221
601
0.0612163
578
0.0612105
616
0.0612046
607
0.0611988
649
0.061193
655
0.0611872
605
0.0611813
678
0.0611755
677
0.0611697
612
0.0611639
702
0.0611581
736
0.0611522
710
0.0611464
709
0.0611406
708
0.0611348
719
0.061129
671
0.0611232
712
0.0611174
755
0.0611115
735
0.0611057
720
0.0610999
700
0.0610941
785
0.0610883
747
0.0610825
784
0.0610767
761
0.0610709
772
0.0610651
752
0.0610593
758
0.0610535
805
0.0610477
830
0.0610419
865
0.0610361
828
0.0610303
842
0.0610245
812
0.0610187
878
0.0610129
902
0.0610071
945
0.0610013
964
0.0609955
913
0.0609897
938
0.060984
1015
0.0609782
993
0.0609724
1021
0.0609666
948
0.0609608
1050
0.060955
1003
0.0609492
1032
0.0609435
972
0.0609377
1003
0.0609319
1048
0.0609261
1100
0.0609203
1031
0.0609146
1112
0.0609088
1104
0.060903
1028
0.0608972
1080
0.0608915
1071
0.0608857
1098
0.0608799
1078
0.0608741
1102
0.0608684
1071
0.0608626
1018
0.0608568
984
0.0608511
1099
0.0608453
1058
0.0608395
992
0.0608338
1048
0.060828
1103
0.0608222
1069
0.0608165
1027
0.0608107
1038
0.0608049
1075
0.0607992
1115
0.0607934
1136
0.0607877
1121
0.0607819
1193
0.0607762
1266
0.0607704
1192
0.0607647
1193
0.0607589
1248
0.0607531
1196
0.0607474
1262
0.0607416
1246
0.0607359
1219
0.0607301
1189
0.0607244
1181
0.0607187
1235
0.0607129
1121
0.0607072
1086
0.0607014
1003
0.0606957
939
0.0606899
1014
0.0606842
897
0.0606785
881
0.0606727
889
0.060667
783
0.0606612
729
0.0606555
733
0.0606498
732
0.060644
711
0.0606383
679
0.0606326
651
0.0606268
699
0.0606211
656
0.0606154
672
0.0606096
659
0.0606039
691
0.0605982
701
0.0605925
677
0.0605867
700
0.060581
694
0.0605753
723
0.0605696
779
0.0605639
784
0.0605581
756
0.0605524
760
0.0605467
804
0.060541
766
0.0605353
774
0.0605295
776
0.0605238
752
0.0605181
759
0.0605124
739
0.0605067
763
0.060501
820
0.0604953
749
0.0604896
788
0.0604838
770
0.0604781
693
0.0604724
695
0.0604667
671
0.060461
689
0.0604553
699
0.0604496
630
0.0604439
625
0.0604382
592
0.0604325
512
0.0604268
548
0.0604211
475
0.0604154
425
0.0604097
429
0.060404
372
0.0603983
334
0.0603926
308
0.0603869
259
0.0603813
238
0.0603756
210
0.0603699
152
0.0603642
139
0.0603585
121
0.0603528
101
0.0603471
82
0.0603414
79
0.0603358
69
0.0603301
59
0.0603244
45
0.0603187
48
0.060313
32
0.0603073
43
0.0603017
23
0.060296
31
0.0602903
22
0.0602846
30
0.060279
20
0.0602733
21
0.0602676
27
0.0602619
29
0.0602563
27
0.0602506
31
0.0602449
25
0.0602393
22
0.0602336
17
0.0602279
13
0.0602223
12
0.0602166
11
0.0602109
16
0.0602053
24
0.0601996
24
0.0601939
21
0.0601883
18
0.0601826
11
0.060177
15
0.0601713
16
0.0601656
21
0.06016
15
0.0601543
16
0.0601487
15
0.060143
18
0.0601374
9
0.0601317
13
0.0601261
11
0.0601204
13
0.0601148
16
0.0601091
11
0.0601035
8
0.0600978
15
0.0600922
18
0.0600865
16
0.0600809
8
0.0600753
10
0.0600696
13
0.060064
11
0.0600583
10
0.0600527
11
0.0600471
5
0.0600414
6
0.0600358
14
0.0600302
12
0.0600245
7
0.0600189
9
0.0600133
14
0.0600076
15
0.060002
18
0.0599964
14
0.0599907
10
0.0599851
9
0.0599795
10
0.0599738
11
0.0599682
10
0.0599626
14
0.059957
13
0.0599514
10
0.0599457
12
0.0599401
4
0.0599345
11
0.0599289
15
0.0599233
7
0.0599176
10
0.059912
4
0.0599064
7
0.0599008
15
0.0598952
7
0.0598896
11
0.059884
8
0.0598783
8
0.0598727
15
0.0598671
15
0.0598615
9
0.0598559
6
0.0598503
15
0.0598447
14
0.0598391
15
0.0598335
10
0.0598279
11
0.0598223
11
0.0598167
7
0.0598111
11
0.0598055
7
0.0597999
18
0.0597943
13
0.0597887
18
0.0597831
12
0.0597775
9
0.0597719
6
0.0597663
12
0.0597607
8
0.0597551
8
0.0597495
8
0.059744
(treated with dilute HF solution, no ion etching)
p-Si (B: 10e14) native oxide(grazing x-rays)dil HF
2003
5
10
15
35
5
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
538
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
10
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
3752
0.208638
0.210837
82
0.210837
88
0.210826
47
0.210815
112
0.210804
37
0.210793
81
0.210781
79
0.21077
69
0.210759
62
0.210748
87
0.210737
86
0.210726
67
0.210715
58
0.210704
94
0.210693
73
0.210682
82
0.21067
67
0.210659
59
0.210648
47
0.210637
82
0.210626
54
0.210615
38
0.210604
59
0.210593
76
0.210582
56
0.210571
71
0.21056
108
0.210548
75
0.210537
72
0.210526
77
0.210515
82
0.210504
80
0.210493
101
0.210482
83
0.210471
101
0.21046
81
0.210449
89
0.210438
86
0.210427
85
0.210416
90
0.210405
94
0.210393
116
0.210382
90
0.210371
111
0.21036
99
0.210349
105
0.210338
56
0.210327
131
0.210316
104
0.210305
126
0.210294
107
0.210283
137
0.210272
128
0.210261
101
0.21025
188
0.210239
184
0.210228
185
0.210217
190
0.210205
191
0.210194
235
0.210183
233
0.210172
262
0.210161
274
0.21015
216
0.210139
267
0.210128
341
0.210117
353
0.210106
419
0.210095
513
0.210084
588
0.210073
580
0.210062
605
0.210051
725
0.21004
743
0.210029
884
0.210018
951
0.210007
1098
0.209996
1192
0.209985
1298
0.209974
1413
0.209963
1643
0.209952
1698
0.209941
1964
0.20993
2049
0.209919
2168
0.209908
2315
0.209897
2495
0.209886
2624
0.209875
2793
0.209864
3026
0.209853
3053
0.209842
3280
0.209831
3479
0.20982
3460
0.209809
3528
0.209798
3681
0.209787
3711
0.209776
3685
0.209765
3657
0.209754
3682
0.209743
3752
0.209732
3514
0.209721
3372
0.20971
3308
0.209699
3186
0.209688
3068
0.209677
2865
0.209666
2794
0.209655
2688
0.209644
2521
0.209633
2257
0.209622
2062
0.209611
2005
0.2096
1766
0.209589
1623
0.209578
1533
0.209567
1432
0.209556
1291
0.209545
1169
0.209534
1099
0.209523
979
0.209512
872
0.209501
748
0.20949
743
0.209479
632
0.209468
533
0.209457
522
0.209446
454
0.209435
401
0.209424
342
0.209413
304
0.209402
287
0.209391
262
0.20938
233
0.209369
189
0.209358
150
0.209347
176
0.209336
132
0.209325
147
0.209314
106
0.209304
163
0.209293
101
0.209282
113
0.209271
103
0.20926
97
0.209249
90
0.209238
68
0.209227
84
0.209216
64
0.209205
54
0.209194
69
0.209183
36
0.209172
57
0.209161
102
0.20915
60
0.209139
30
0.209128
60
0.209118
92
0.209107
62
0.209096
37
0.209085
52
0.209074
44
0.209063
62
0.209052
70
0.209041
27
0.20903
51
0.209019
42
0.209008
80
0.208997
39
0.208986
37
0.208975
41
0.208965
34
0.208954
78
0.208943
57
0.208932
30
0.208921
79
0.20891
22
0.208899
23
0.208888
55
0.208877
42
0.208866
24
0.208855
39
0.208845
21
0.208834
0
0.208823
34
0.208812
43
0.208801
48
0.20879
49
0.208779
54
0.208768
96
0.208757
55
0.208746
33
0.208736
38
0.208725
38
0.208714
50
0.208703
36
0.208692
58
0.208681
26
0.20867
34
0.208659
53
0.208648
28
0.208638
(treated with dilute HF solution, no ion etching)
p-Si (B: 10e14) native oxide(grazing x-rays)dil HF
2003
5
10
15
35
5
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
290
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
10
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
504
0.165755
0.16714
26
0.16714
38
0.167133
26
0.167126
37
0.167119
66
0.167112
51
0.167105
59
0.167098
66
0.167091
43
0.167084
63
0.167077
78
0.16707
30
0.167063
18
0.167056
45
0.167049
9
0.167043
59
0.167036
52
0.167029
36
0.167022
64
0.167015
59
0.167008
44
0.167001
44
0.166994
24
0.166987
38
0.16698
55
0.166973
102
0.166966
72
0.166959
59
0.166952
62
0.166945
54
0.166938
77
0.166931
86
0.166924
98
0.166917
63
0.16691
46
0.166903
92
0.166896
126
0.166889
90
0.166882
120
0.166875
80
0.166868
133
0.166861
126
0.166854
130
0.166847
133
0.16684
165
0.166834
159
0.166827
160
0.16682
171
0.166813
173
0.166806
137
0.166799
134
0.166792
165
0.166785
233
0.166778
205
0.166771
190
0.166764
179
0.166757
188
0.16675
122
0.166743
190
0.166736
184
0.166729
181
0.166722
166
0.166715
167
0.166708
148
0.166701
205
0.166694
211
0.166688
199
0.166681
190
0.166674
202
0.166667
213
0.16666
233
0.166653
263
0.166646
250
0.166639
278
0.166632
311
0.166625
267
0.166618
292
0.166611
311
0.166604
307
0.166597
385
0.16659
406
0.166583
377
0.166576
406
0.16657
389
0.166563
425
0.166556
504
0.166549
465
0.166542
456
0.166535
408
0.166528
409
0.166521
405
0.166514
425
0.166507
406
0.1665
439
0.166493
364
0.166486
321
0.166479
334
0.166472
268
0.166466
268
0.166459
235
0.166452
215
0.166445
193
0.166438
185
0.166431
189
0.166424
209
0.166417
132
0.16641
106
0.166403
134
0.166396
105
0.166389
54
0.166382
79
0.166376
53
0.166369
58
0.166362
80
0.166355
115
0.166348
63
0.166341
31
0.166334
58
0.166327
54
0.16632
34
0.166313
26
0.166306
83
0.166299
51
0.166293
0
0.166286
32
0.166279
71
0.166272
22
0.166265
55
0.166258
30
0.166251
37
0.166244
39
0.166237
11
0.16623
30
0.166223
43
0.166216
29
0.16621
39
0.166203
46
0.166196
56
0.166189
53
0.166182
28
0.166175
38
0.166168
45
0.166161
43
0.166154
34
0.166147
18
0.166141
33
0.166134
31
0.166127
64
0.16612
25
0.166113
69
0.166106
25
0.166099
28
0.166092
40
0.166085
6
0.166078
24
0.166072
57
0.166065
3
0.166058
51
0.166051
40
0.166044
32
0.166037
61
0.16603
46
0.166023
39
0.166016
36
0.16601
42
0.166003
51
0.165996
48
0.165989
45
0.165982
10
0.165975
8
0.165968
20
0.165961
15
0.165954
28
0.165948
35
0.165941
50
0.165934
8
0.165927
43
0.16592
12
0.165913
62
0.165906
22
0.165899
22
0.165893
49
0.165886
51
0.165879
27
0.165872
16
0.165865
66
0.165858
66
0.165851
22
0.165844
43
0.165837
58
0.165831
39
0.165824
19
0.165817
31
0.16581
32
0.165803
63
0.165796
58
0.165789
12
0.165782
58
0.165776
35
0.165769
38
0.165762
9
0.165755
(treated with dilute HF solution, no ion etching)
p-Si (B: 10e14) native oxide(grazing x-rays)dil HF
2003
5
10
15
35
5
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
109
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
50
4.00E-06
0
0
0
0
562
108
16789
0.143719
0.14518
648
0.14518
627
0.145175
682
0.145169
617
0.145164
661
0.145159
601
0.145154
615
0.145148
599
0.145143
648
0.145138
662
0.145133
595
0.145127
643
0.145122
661
0.145117
648
0.145112
627
0.145106
657
0.145101
636
0.145096
646
0.145091
613
0.145085
617
0.14508
611
0.145075
620
0.145069
627
0.145064
636
0.145059
635
0.145054
661
0.145048
598
0.145043
620
0.145038
593
0.145033
603
0.145027
621
0.145022
578
0.145017
631
0.145012
569
0.145006
591
0.145001
623
0.144996
607
0.144991
585
0.144985
596
0.14498
574
0.144975
510
0.14497
579
0.144964
528
0.144959
588
0.144954
583
0.144949
560
0.144943
585
0.144938
578
0.144933
568
0.144928
540
0.144922
535
0.144917
570
0.144912
548
0.144907
567
0.144901
543
0.144896
512
0.144891
543
0.144886
530
0.14488
526
0.144875
546
0.14487
545
0.144865
531
0.144859
523
0.144854
539
0.144849
513
0.144844
528
0.144838
488
0.144833
534
0.144828
519
0.144823
572
0.144817
570
0.144812
569
0.144807
633
0.144802
582
0.144796
597
0.144791
646
0.144786
608
0.144781
657
0.144775
699
0.14477
692
0.144765
732
0.14476
788
0.144754
846
0.144749
925
0.144744
964
0.144739
975
0.144734
1009
0.144728
1180
0.144723
1096
0.144718
1156
0.144713
1267
0.144707
1352
0.144702
1498
0.144697
1451
0.144692
1547
0.144686
1575
0.144681
1577
0.144676
1769
0.144671
1764
0.144665
1775
0.14466
1827
0.144655
1885
0.14465
1898
0.144645
1879
0.144639
1920
0.144634
1949
0.144629
1938
0.144624
1957
0.144618
1936
0.144613
1898
0.144608
1888
0.144603
1770
0.144597
1799
0.144592
1692
0.144587
1575
0.144582
1588
0.144577
1492
0.144571
1436
0.144566
1365
0.144561
1368
0.144556
1299
0.14455
1171
0.144545
1171
0.14454
1156
0.144535
999
0.14453
959
0.144524
928
0.144519
991
0.144514
882
0.144509
820
0.144503
792
0.144498
834
0.144493
753
0.144488
747
0.144483
701
0.144477
702
0.144472
696
0.144467
675
0.144462
669
0.144456
646
0.144451
658
0.144446
668
0.144441
623
0.144436
613
0.14443
653
0.144425
649
0.14442
728
0.144415
694
0.14441
686
0.144404
721
0.144399
762
0.144394
769
0.144389
818
0.144383
838
0.144378
829
0.144373
935
0.144368
1006
0.144363
980
0.144357
1138
0.144352
1227
0.144347
1410
0.144342
1558
0.144337
1834
0.144331
2029
0.144326
2475
0.144321
2972
0.144316
3405
0.144311
4325
0.144305
5216
0.1443
6180
0.144295
7338
0.14429
8422
0.144285
9355
0.144279
10157
0.144274
10433
0.144269
10282
0.144264
9946
0.144259
9559
0.144253
9302
0.144248
9520
0.144243
10235
0.144238
11214
0.144233
12644
0.144227
14255
0.144222
15732
0.144217
16789
0.144212
16594
0.144207
15332
0.144201
13715
0.144196
11111
0.144191
8624
0.144186
6209
0.144181
4431
0.144175
2893
0.14417
1901
0.144165
1327
0.14416
864
0.144155
714
0.144149
575
0.144144
475
0.144139
384
0.144134
314
0.144129
317
0.144123
274
0.144118
237
0.144113
215
0.144108
223
0.144103
192
0.144097
180
0.144092
172
0.144087
205
0.144082
174
0.144077
166
0.144071
168
0.144066
137
0.144061
165
0.144056
149
0.144051
146
0.144046
150
0.14404
165
0.144035
135
0.14403
143
0.144025
155
0.14402
150
0.144014
139
0.144009
150
0.144004
165
0.143999
132
0.143994
147
0.143988
157
0.143983
134
0.143978
144
0.143973
140
0.143968
123
0.143963
140
0.143957
127
0.143952
126
0.143947
156
0.143942
155
0.143937
117
0.143931
137
0.143926
131
0.143921
144
0.143916
118
0.143911
122
0.143906
125
0.1439
131
0.143895
112
0.14389
141
0.143885
123
0.14388
126
0.143875
116
0.143869
124
0.143864
124
0.143859
138
0.143854
137
0.143849
140
0.143843
111
0.143838
126
0.143833
116
0.143828
131
0.143823
140
0.143818
146
0.143812
146
0.143807
126
0.143802
118
0.143797
147
0.143792
108
0.143787
127
0.143781
130
0.143776
123
0.143771
121
0.143766
119
0.143761
143
0.143756
119
0.14375
127
0.143745
124
0.14374
108
0.143735
151
0.14373
128
0.143725
128
0.143719
(treated with dilute HF solution, no ion etching)
p-Si (B: 10e14) native oxide(grazing x-rays)dil HF
2003
5
10
15
35
5
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
14.31
1
0
0
1000
2000
55
0
data_6
data_6
-1
Binding energy
eV
109
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
83
4.00E-06
0
0
0
0
562
46
7249
0.379103
0.381025
269
0.381025
251
0.381018
261
0.381011
292
0.381004
294
0.380997
267
0.38099
279
0.380983
248
0.380977
279
0.38097
270
0.380963
257
0.380956
269
0.380949
257
0.380942
247
0.380935
258
0.380928
251
0.380921
258
0.380914
247
0.380907
278
0.380901
264
0.380894
263
0.380887
258
0.38088
241
0.380873
244
0.380866
258
0.380859
251
0.380852
255
0.380845
256
0.380838
240
0.380832
256
0.380825
239
0.380818
280
0.380811
258
0.380804
248
0.380797
221
0.38079
243
0.380783
257
0.380776
226
0.380769
239
0.380762
256
0.380756
240
0.380749
243
0.380742
269
0.380735
224
0.380728
236
0.380721
227
0.380714
237
0.380707
225
0.3807
238
0.380693
257
0.380687
195
0.38068
223
0.380673
225
0.380666
227
0.380659
235
0.380652
230
0.380645
229
0.380638
202
0.380631
206
0.380625
194
0.380618
217
0.380611
200
0.380604
244
0.380597
213
0.38059
207
0.380583
214
0.380576
235
0.380569
197
0.380563
245
0.380556
208
0.380549
252
0.380542
229
0.380535
232
0.380528
240
0.380521
265
0.380514
215
0.380507
239
0.380501
265
0.380494
257
0.380487
275
0.38048
311
0.380473
301
0.380466
328
0.380459
355
0.380452
368
0.380445
402
0.380439
414
0.380432
459
0.380425
438
0.380418
455
0.380411
506
0.380404
538
0.380397
552
0.38039
531
0.380384
579
0.380377
605
0.38037
613
0.380363
674
0.380356
694
0.380349
651
0.380342
677
0.380335
742
0.380328
704
0.380322
778
0.380315
722
0.380308
754
0.380301
735
0.380294
718
0.380287
726
0.38028
694
0.380273
646
0.380267
688
0.38026
604
0.380253
570
0.380246
594
0.380239
604
0.380232
541
0.380225
529
0.380219
498
0.380212
530
0.380205
460
0.380198
417
0.380191
398
0.380184
375
0.380177
365
0.38017
381
0.380164
341
0.380157
315
0.38015
318
0.380143
271
0.380136
327
0.380129
285
0.380122
265
0.380115
263
0.380109
254
0.380102
265
0.380095
257
0.380088
255
0.380081
241
0.380074
226
0.380067
206
0.380061
209
0.380054
225
0.380047
226
0.38004
250
0.380033
256
0.380026
246
0.380019
240
0.380013
270
0.380006
254
0.379999
274
0.379992
252
0.379985
275
0.379978
277
0.379971
289
0.379965
323
0.379958
309
0.379951
342
0.379944
385
0.379937
432
0.37993
410
0.379923
479
0.379917
559
0.37991
654
0.379903
731
0.379896
924
0.379889
1202
0.379882
1437
0.379875
1845
0.379869
2373
0.379862
2934
0.379855
3478
0.379848
4066
0.379841
4183
0.379834
4235
0.379827
3686
0.379821
3215
0.379814
2926
0.379807
2787
0.3798
3039
0.379793
3379
0.379786
4219
0.37978
5178
0.379773
6087
0.379766
7026
0.379759
7249
0.379752
7110
0.379745
6108
0.379738
4776
0.379732
3340
0.379725
2308
0.379718
1363
0.379711
829
0.379704
512
0.379697
316
0.379691
242
0.379684
220
0.379677
172
0.37967
161
0.379663
148
0.379656
102
0.37965
116
0.379643
104
0.379636
107
0.379629
94
0.379622
104
0.379615
96
0.379608
95
0.379602
98
0.379595
97
0.379588
108
0.379581
86
0.379574
91
0.379567
99
0.379561
87
0.379554
85
0.379547
93
0.37954
106
0.379533
100
0.379526
86
0.37952
76
0.379513
88
0.379506
90
0.379499
84
0.379492
71
0.379485
91
0.379479
88
0.379472
102
0.379465
84
0.379458
91
0.379451
86
0.379444
80
0.379438
113
0.379431
65
0.379424
72
0.379417
77
0.37941
93
0.379404
73
0.379397
66
0.37939
71
0.379383
66
0.379376
72
0.379369
73
0.379363
73
0.379356
76
0.379349
59
0.379342
60
0.379335
85
0.379328
66
0.379322
46
0.379315
71
0.379308
80
0.379301
73
0.379294
62
0.379288
68
0.379281
67
0.379274
58
0.379267
74
0.37926
65
0.379253
77
0.379247
70
0.37924
69
0.379233
70
0.379226
77
0.379219
64
0.379213
61
0.379206
67
0.379199
60
0.379192
71
0.379185
73
0.379178
79
0.379172
67
0.379165
64
0.379158
72
0.379151
70
0.379144
56
0.379138
71
0.379131
73
0.379124
66
0.379117
75
0.37911
60
0.379103
end of experiment
